АвторыПархоменко Ю.Н., Антипов В.В., Жуков Р.А., Кугаенко О.М., Петраков В.С.
Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления
ИздательствоМИСиС
Тип изданияпрактикум
Год издания2017
Скопировать биб. запись
Для каталогаПархоменко, Ю. Н. Выращивание кристаллов : выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления : лаб. практикум / Ю. Н. Пархоменко и др. - Москва : МИСиС, 2017. - 54 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/Misis_190.html (дата обращения: 25.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияПрактикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу "Выращивание кристаллов". Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок.<br> Цель лабораторного практикума - приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. <br>Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 "Материаловедение и технология материалов" по программе "Кристаллы квантовой и оптической электроники".