АвторыКузнецов Г.Д., Симакин С.Б., Демченкова Д.Н.
Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2008
Скопировать биб. запись
Для каталогаКузнецов, Г. Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : Курс лекций / Кузнецов Г. Д. , Симакин С. Б. , Демченкова Д. Н. - Москва : МИСиС, 2008. - 191 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/Misis_147.html (дата обращения: 23.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. <br>Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. <br>Содержание курса лекций соответствует программе.<br> Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210600 "Нанотехнология", 210601 "Нанотехнология в электронике" и по специальности 210602 "Наноматериалы".