Скопировать биб. запись
Для каталогаНеволин, В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике / Неволин В. К. - Издание 2-е, исправленное. - Москва : Техносфера, 2014. - 176 с. - ISBN 978-5-94836-382-0. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785948363820.html (дата обращения: 25.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияПрогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехноло-гии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.