Скопировать биб. запись
Для каталогаАстахов, В. П. Основы технологии электронной компонентной базы : практикум / Астахов В. П. - Москва : МИСиС, 2016. - 53 с. - ISBN 978-5-87623-964-8. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876239648.html (дата обращения: 27.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияСодержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса "Основы технологии электронной компонентной базы" для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".