АвторыКурочка С.П., Сергиенко А.А.
Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии. Методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2015
Скопировать биб. запись
Для каталогаКурочка, С. П. Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии. Методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций : учеб. пособие / С. П. Курочка, А. А. Сергиенко - Москва : МИСиС, 2015. - 82 с. - ISBN 978-5-87623-940-2. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876239402.html (дата обращения: 25.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии - молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические - зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор.<br> Предназначено для магистрантов, обучающихся по направлениям 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника".