АвторыЮрчук С.Ю.
Основы математического моделирования
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2014
Скопировать биб. запись
Для каталогаЮрчук, С. Ю. Основы математического моделирования : учеб. пособие / Юрчук С. Ю. - Москва : МИСиС, 2014. - 108 с. - ISBN 978-5-87623-811-5. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876238115.html (дата обращения: 23.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов полупроводниковой электроники: диффузии, ионной имплантации, термического окисления и импульсного отжига. Представлены методики решения основных уравнений и способы проведения процесса моделирования с целью разработки топологии современных структур микро- и наноэлектроники. Дана информация о широко используемых в настоящее время физических моделях технологических процессов электроники, их возможностях и ограничениях. Большое внимание уделено описанию параметров математических моделей, позволяющих получать реалистичные результаты моделирования, хорошо совпадающие с экспериментальными. <br>Учебное пособие предназначено для освоения студентами методов математического моделирования основных технологических процессов изготовления микроэлектронных полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также изучения современных моделей процессов электроники. <br>Пособие позволит студентам более глубоко усвоить лекционный материал при подготовке к практическим занятиям и окажет помощь при выполнении домашних заданий и курсовых работ.<br> Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника".