АвторыС.Ю. Юрчук
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2013
Скопировать биб. запись
Для каталогаЮрчук, С. Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур / С. Ю. Юрчук - Москва : МИСиС, 2013. - 45 с. - ISBN 978-5-87623-662-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876236623.html (дата обращения: 23.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияКурс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника".