АвторыКузнецов, Г.Д.
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом : ускоренные электроны : учеб. пособие
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2012
Скопировать биб. запись
Для каталогаФизика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом : ускоренные электроны : учеб. пособие / Кузнецов, Г. Д. - Москва : МИСиС, 2012. - 97 с. - ISBN 978-5-87623-572-5. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876235725.html (дата обращения: 26.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияУчебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургической секции PAEН. Соответствует программе курса "Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом". Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направле- нию "Электроника и наноэлектроника" и может быть полезно для обучаю- щихся по направлению "Нанотехнологии и микросистемная техника".