АвторыКузнецов Г.Д., Сергиенко А.А., Симакин С.Б., Курочка С.П., Курочка А.С.
Элионная технология в микро- и наноиндустрии : неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2012
Скопировать биб. запись
Для каталогаКузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций / Кузнецов Г. Д. , Сергиенко А. А. , Симакин С. Б. , Курочка С. П. , Курочка А. С. - Москва : МИСиС, 2012. - 122 с. - ISBN 978-5-87623-547-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785876235473.html (дата обращения: 23.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы. По каждой теме приводится перечень контрольных вопросов для проверки усвоения материала и выдаются домашние задания с примером выполнения. Учебное пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника", "Нанотехнология и микросистемная техника" и может быть полезно обучающимся по направлениям "Наноматериалы" и "Физика".