АвторыВ. Ю. Васильев
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники
ИздательствоНовосибирский ГТУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2021
Скопировать биб. запись
Для каталогаВасильев, В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. - Новосибирск : НГТУ, 2021. - 100 с. - ISBN 978-5-7782-4389-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778243897.html (дата обращения: 25.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияПоказаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов нитрида кремния, диоксида кремния, силикатных стекол при ХОГФ для использования в технологиях микро- и наноэлектроники с проектно-технологическими нормами более 150 нм. Рассматривается алгоритм анализа патентов по тематике ТП для технологий ИМС. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет. <br>Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 и 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.