АвторыВасильев В.Ю.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники
ИздательствоНовосибирский ГТУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2019
Скопировать биб. запись
Для каталогаВасильев, В. Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Васильев В. Ю. - Новосибирск : НГТУ, 2019. - 107 с. - ISBN 978-5-7782-3915-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778239159.html (дата обращения: 27.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияРассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов.<br> Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины "Семинары по специальности", образовательная программа: 11.04.04. "Электроника и наноэлектроника", магистерская программа "Микро- и наноэлектроника". Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 ("Электроника и наноэлектроника"), 28.03.01 и 28.04.01 ("Нанотехнологии и микросистемная техника") в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. <br>Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 "Электроника, радиотехника и системы связи", представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.