АвторыМ.К. Марахтанов, Д.В. Духопельников, Е.В. Воробьев ; под ред. А.Б. Ивашкина
Основы конструирования вакуумных плазменных установок
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2014
Скопировать биб. запись
Для каталогаМарахтанов, М. К. Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие / М. К. Марахтанов, Д. В. Духопельников, Е. В. Воробьев; под ред. А. Б. Ивашкина. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 9 с. - ISBN 978-5-7038-4029-0. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703840290.html (дата обращения: 27.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияРассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий. Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем.