АвторыПанфилов Ю.В., Моисеев К.М., Михайлов В.П.
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии. Кн. 3
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2011
Скопировать биб. запись
Для каталогаПанфилов, Ю. В Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии. В 17 кн. Кн. 3 : учеб. пособие / Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 192 с. (Библиотека "Наноинженерия") - ISBN 978-5-7038-3494-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703834947.html (дата обращения: 23.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияМетодические материалы по дисциплине "Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии" содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. <br>Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки "Нанотехнология" с профилем подготовки "Наноинженерия". Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.