Поиск

Закладки

Озвучивание недоступно

Озвучить книгу

Изменить режим чтения

Изменить размер шрифта

Оглавление

Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Введение в микросистемную технику

3. Технологии микромеханики

Предыдущая страница

Следующая страница

Table of contents

Введение

1. Принципы функционирования и особенности проектирова" ния МЭМС

2. Конструкционные материалы +

3. Технологии микромеханики -

3.1. Глубинное объемное травление

3.2. Анизотропное жидкостное травление

3.3. Сухое травление

3.4. Технология поверхностной механики

3.5. LIGAтехнология

3.6. Соединение пластин

3.7. Электроннолучевая литография

3.8. Микростереолитография

4. Датчики и исполнительные устройства +

Контрольные вопросы

Литература

Данный блок поддерживает скрол*