Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Введение в микросистемную технику
2. Конструкционные материалы
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
1. Принципы функционирования и особенности проектирова" ния МЭМС
2. Конструкционные материалы
-
2.1. Термическое окисление
2.2. Химическое осаждение из газовой фазы
2.3. Физическое осаждение
2.3.1. Термовакуумное испарение и осаждение
2.3.2. Катодное распыление
2.4. Электрохимическое осаждение
3. Технологии микромеханики
+
4. Датчики и исполнительные устройства
+
Контрольные вопросы
Литература
Данный блок поддерживает скрол*