Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Технология микросистемной техники. Методы микрообработки
4. Объемная микрообработка
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
1. Вводная часть
2. Материалы для микрообработки
+
3. Фотолитография
4. Объемная микрообработка
-
4.1. Особенности обработки
4.2. Изотропное и анизотропное (направленное) жидкостное травление
4.3. Травление с барьерным слоем
5. Поверхностная микрообработка
6. Технология LIGA
7. Соединение слоев внутри микросистемы
+
Литература
Данный блок поддерживает скрол*