3. Фотолитография

Поставить закладку

Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте просмотр в виде pdf. Вам доступно 20 стр. из этой главы.

Для продолжения работы требуется Registration

Предыдущая страница

Следующая страница

1. Вводная часть

2. Материалы для микрообработки +

3. Фотолитография

4. Объемная микрообработка +

5. Поверхностная микрообработка

6. Технология LIGA

7. Соединение слоев внутри микросистемы +

Литература

Данный блок поддерживает скрол*

3. Фотолитография

Table of contents