Поиск

Закладки

Озвучивание недоступно

Озвучить книгу

Изменить режим чтения

Изменить размер шрифта

Оглавление

Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Тема 4. Литографические методы в микро- и наноэлектронике

Предыдущая страница

Следующая страница

Table of contents

Предисловие

Тема 1. Ионно-плазменное осаждение слоев +

Тема 2. Применение ионной имплантации +

Тема 3. Особенности применения электронных процессов в электронике +

Тема 4. Литографические методы в микро- и наноэлектронике -

4.1. Возможности оптической литографии

4.2. Электронно-лучевая литография

4.3. Голографическая и рентгеновская литография

4.4. Ионно-лучевая литография

4.5. Ограничения процессов в литографии

4.6. Примеры получения устройств микро- и наноиндустрии

Заключение

Библиографический список

Данный блок поддерживает скрол*