Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Глава 5. Стабилизация процесса реактивного магнетронного распыления по электрическим параметрам разряда
/
/
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Сведения об авторах
Введение. Особенности реактивного магнетронного распыления
Глава 1. Причины нестабильности реактивного распыления
+
Глава 2. Механизмы взаимодействия реактивного газа с поверхностью мишени
+
Глава 3. Стабилизация и управление реактивным разрядом с помощью внешних по отношению к разряду устройств контроля
+
Глава 4. Изменение электрических параметров реактивного разряда при изменении состояния поверхности мишени
+
Глава 5. Стабилизация процесса реактивного магнетронного распыления по электрическим параметрам разряда
-
5.1. Особенности вольтамперных характеристик реактивного магнетронного разряда при фиксированном потоке реактивного газа
5.2. Стабилизация реактивного процесса стабилизацией напряжения разряда и контролем напуска газа по току разряда
5.3. Стабилизация реактивного процесса стабилизацией тока разряда и управлением напуском реактивного газа по напряжению разряда
5.4. Стабилизация и управление реактивным импульсным разрядом по величине циркулирующей мощности
Глава 6. Достижение долговременной стабильности процесса реактивного магнетронного распыления
+
Глава 7. Влияние температуры мишени на процесс реактивного распыления
+
Глава 8. Влияние температуры подложки на скорость роста и состав пленки в реактивном процессе
Глава 9. Особенности проведения, контроля и стабилизации реактивного HiPIMS-процесса
+
Глава 10. Альтернативные способы устранения гистерезиса из характеристик реактивного процесса
+
Глава 11. Некоторые способы повышения эффективности процессов реактивного нанесения тонких пленок
+
Глава 12. Заключительная
+
Литература
Данный блок поддерживает скрол*