8.1. Введение
8.2. Плазменно-сорбционная технология извлечения чистого кремния для микроэлектронных приложенийи фторида водорода из синтетических фтор-содержащих минералов
Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте
просмотр в виде pdf. Вам доступно 5 стр. из этой главы.