Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
+
Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов
+
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре
+
Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2
-
§ 3.1. Результаты экспериментального исследования плазмы бинарных смесей хлора с Ar, N2, H2 и О2
§ 3.2. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-аргон
§ 3.3. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-азот
§ 3.4. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-кислород
§ 3.5. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор-водород
§ 3.6. Анализ возможных механизмов влияния начального состава смеси на скорость травления
Заключение
Литература
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2
+
Данный блок поддерживает скрол*