Введение

Поставить закладку

Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте просмотр в виде pdf. Вам доступно 20 стр. из этой главы.

Для продолжения работы требуется Registration

Предыдущая страница

Следующая страница

Введение -

Литература

Глава 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов +

Глава 2. Параметры плазмы и закономерности образования и гибели активных частиц при разряде в хлоре +

Глава 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2 и O2 +

Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2 и O2 +

Данный блок поддерживает скрол*

Введение

Table of contents