Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники
Дополнительная зарубежная и отечественная литература по технологиям и маршрутам ИМС
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
Дополнительная зарубежная и отечественная литература по технологиям и маршрутам ИМС
Глава 1. Общие вопросы ХОГФ ТП применительно к ИМС
Глава 2. Тонкие пленки нитрида кремния
Глава 3. Тонкие пленки диоксида кремния
Глава 4. Тонкие пленки силикатных стекол
Глава 5. Анализ патентов по тематике ТП для технологий ИМС
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*