Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Основы конструирования вакуумных плазменных установок
2. Вакуумные насосы
Поставить закладку
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
1. Основные понятия вакуумной техники: быстрота откачки, быстрота действия, сопротивление и проводимость трубопровода
+
2. Вакуумные насосы
-
2.1. Роторно-пластинчатый насос
2.2. Спиральный насос
2.3. Мембранный (диафрагменный) насос
2.4. Насос Рутса
2.5. Диффузионный насос
2.6. Турбомолекулярный насос
2.7. Криогенный насос
3. Потоки нейтральных и заряженных частиц в плазменном PVD-процессе
+
4. Откачка вакуумных систем
Литература
Данный блок поддерживает скрол*