Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Нанотехнологии и микромеханика
6. ОБЪЕМНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Поставить закладку
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
ВВЕДЕНИЕ
1. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
+
2. ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИКИ
+
3. ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
+
4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ
+
5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ
+
6. ОБЪЕМНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
-
6.1. Изотропное жидкостное травление
6.2. Электрохимическое травление кремния
6.3. Анизотропное жидкостное травление
6.4. Сухое травление
7. ТЕХНОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТНОЙ МЕХАНИКИ
+
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*