Поиск

Закладки

Озвучивание недоступно

Озвучить книгу

Изменить режим чтения

Изменить размер шрифта

Оглавление

Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Нанотехнологии и микромеханика

5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Предыдущая страница

Следующая страница

Table of contents

ВВЕДЕНИЕ

1. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ +

2. ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИКИ +

3. ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ +

4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ +

5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ -

5.1. Электронно-лучевая литография

5.2. Ионно-лучевая литография

6. ОБЪЕМНОЕ ТРАВЛЕНИЕ +

7. ТЕХНОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТНОЙ МЕХАНИКИ +

ЛИТЕРАТУРА

Данный блок поддерживает скрол*