Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Нанотехнологии и микромеханика
5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Поставить закладку
Если Вы наш подписчик,то для того чтобы скопировать текст этой страницы в свой конспект,
используйте
просмотр в виде pdf
. Вам доступно 2 стр. из этой главы.
Для продолжения работы требуется
Registration
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
ВВЕДЕНИЕ
1. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
+
2. ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИКИ
+
3. ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
+
4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ
+
5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ
-
5.1. Электронно-лучевая литография
5.2. Ионно-лучевая литография
6. ОБЪЕМНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
+
7. ТЕХНОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТНОЙ МЕХАНИКИ
+
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*