Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Нанотехнологии и микромеханика
2. ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИКИ
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
ВВЕДЕНИЕ
1. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
+
2. ТЕХНОЛОГИИ МИКРОМЕХАНИКИ
-
2.1. Формирование оксидных слоев методом термического окисления
2.2. Формирование оксидных слоев методом химического осаждения из газовой фазы
3. ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
+
4. МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ И ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ
+
5. ФОТОЛИТОГРАФИЯ
+
6. ОБЪЕМНОЕ ТРАВЛЕНИЕ
+
7. ТЕХНОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТНОЙ МЕХАНИКИ
+
ЛИТЕРАТУРА
Данный блок поддерживает скрол*