Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение
Глава 5. Электронно-лучевая нанолитография в растровом электронном микроскопе
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Предисловие
Словарь наиболее часто используемых аббревиатур
Глава 1. Основы растровой электронной микроскопии
1. Введение
+
2. Устройство растровых электронных микроскопов
+
3. Подготовка образцов
+
Глава 2. Метод дифракции отраженных электронов (ДОЭ) и примеры исследования материалов
+
Глава 3. Рентгеновский микроанализ в наноматериалах
+
Глава 4. Низкокиловольтная растровая электронная микроскопия
+
Глава 5. Электронно-лучевая нанолитография в растровом электронном микроскопе
-
1. Введение
1.1. Основы электронно-лучевой литографии на базе растрового микроскопа
1.2. Описание электронно-литографической системы на базе РЭМ
1.3. Подключение системы литографии к РЭМ
2. Материалы и подготовка к обработке
2.1. Подложки
2.2. Резисты
2.3. Нанесение резиста центрифугированием
3. Генератор шаблонов
3.1. Методические указания по проектированию шаблона
3.2. Конфигурация системы
3.3. Настройка микроскопа
4. Обработка экспонированного шаблона
4.1. Проявление
4.2. Нанесение резиста и взрывная технология
4.3. Травление
4.4. Контроль шаблона и общие ошибки
5. Применение электронно-лучевой нанолитографии в нанотехнологиии
5.1. Нанотранзисторы
5.2. Нанодатчики
5.3. Магнитные наноприборы
5.4. Биологические применения
6. Выводы
Литература
Глава 6. Просвечивающая растровая электронная микроскопия для исследования наноструктур
+
Глава 7. Введение в наноманипулирование in situ для конструирования наноматериалов
+
Глава 8. Применение фокусированного ионного пучка и двухлучевых систем DualBeam для изготовления наноструктур
+
Глава 9. Нанопроволоки и углеродные нанотрубки
+
Глава 10. Фотонные кристаллы и устройства
+
Глава 11. Наночастицы и коллоидные самосборки
+
Глава 12. Наноблоки, изготовленные посредством темплатов
+
Глава 13. Одномерные полупроводниковые структуры с кристаллической решеткой типа вюрцита
+
Глава 14. Бионаноматериалы
+
Глава 15. Низкотемпературные стадии в наноструктурных исследованиях
+
Литература
Предметный указатель
Данный блок поддерживает скрол*