Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Микромеханические приборы: учебное пособие.
Глава 5. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
ПРИНЯТЫЕ СОКРАЩЕНИЯ
ПРЕДИСЛОВИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. КОНСТРУКЦИИ И ПРИНЦИПЫ РАБОТЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
+
Глава 2. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОИЗВОДСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
+
Глава 3. ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
+
Глава 4. ДИНАМИКА ЧЭ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
+
Глава 5. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
-
5.1. Микроакселерометры прямого преобразования
5.1.1. Осевой микроакселерометр
5.1.2. Маятниковый микроакселерометр
5.2. Микроакселерометры компенсационного преобразования
5.2.1. Микроакселерометр с электростатической обратной связью
5.2.2. Микроакселерометр с магнитоэлектрической обратной связью
5.3. Коррекция частотных характеристик
5.4. Ошибки измерения микроакселерометрами
5.5. Микродатчик давления прямого преобразования
5.6. Микродатчики давления компенсационного преобразования
5.6.1. Микродатчик давления с электростатической обратной связью
5.6.2. Микродатчик давления с магнитоэлектрической обратной связью
5.7. Формирование выходных сигналов микрогироскопов
5.7.1. Прямое преобразование
А. Микрогироскопы LR- и LL-типов
Б. Микрогироскопы RR-типа
5.7.2. Компенсационное преобразование
5.8. Зависимость измерительных свойств МГ от конструктивных параметров и внешних возмущений
5.8.1. Масштабный коэффициент и частотная настройка
5.8.2. Зависимость частот, расстройки частот и масштабных коэффициентов от изменения геометрических размеров ротора и упругих элементов подвеса
5.8.3. Влияние линейной и угловой вибрации основания
5.8.4. Влияние ориентации упругих элементов подвеса на пластине монокристал лического кремния
5.9. Шум в микромеханических приборах
5.9.1. Происхождение теплового шума
5.9.2. Происхождение механического шума
5.9.3. Механический шум микроакселерометров и микродатчиков давления
5.9.4. Механический шум микрогироскопов
Темы для самоконтроля
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
СПИСОК ДОПОЛНИТЕЛЬНОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ
Данный блок поддерживает скрол*