Поиск

Закладки

Озвучивание недоступно

Озвучить книгу

Изменить режим чтения

Изменить размер шрифта

Оглавление

Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.

Микромеханические приборы: учебное пособие.

Глава 2. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОИЗВОДСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Предыдущая страница

Следующая страница

Table of contents

ПРИНЯТЫЕ СОКРАЩЕНИЯ

ПРЕДИСЛОВИЕ

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. КОНСТРУКЦИИ И ПРИНЦИПЫ РАБОТЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ +

Глава 2. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРОИЗВОДСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ -

2.1. Материалы

2.1.1. Кристаллы. Символы граней и направлений

2.1.2. Кремний

2.1.3. Арсенид галлия

2.1.4. Кремниевые компаунды

2.1.5. Металлы

2.2. Выращивание и депонирование тонких пленок

2.2.1. Эпитаксия

2.2.2. Диффузия

2.2.3. Ионная имплантация

2.3. Литография

2.3.1. Фотолитография

2.3.2. Электронно-лучевая литография

2.3.3. Рентгеновская литография

2.4. Травление

2.4.1. Изотропное травление

2.4.2. Анизотропное травление

2.4.3. Другие виды травления

2.4.4. Контроль размерных параметров при травлении

2.5. Изготовление микроструктур

2.5.1. Базовые технологии формообразования

2.5.2. Микроэлектронные элементы

2.6. Сборка микромеханического прибора

2.7. Испытания механических свойств материалов микромеханических структур

Темы для самоконтроля

Глава 3. ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ +

Глава 4. ДИНАМИКА ЧЭ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ +

Глава 5. ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ +

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

СПИСОК ДОПОЛНИТЕЛЬНОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ

Данный блок поддерживает скрол*