Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Ионно-плазменная обработка материалов: Курс лекций
Тема 4. Возможности ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Тема 1. Вакуум-плазменные процессы травления материалов
+
Тема 2. Вакуум-плазменное нанесение тонких пленок
+
Тема 3. Ионный синтез и ионная кристаллизация
+
Тема 4. Возможности ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники
-
4.1. Получение слоисто-однородных структур
4.2. Получение гетероструктур с внутренней топологией (танталовая технология)
Заключение
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*