Справка
x
Поиск
Закладки
Озвучить книгу
Изменить режим чтения
Изменить размер шрифта
Оглавление
Для озвучивания и цитирования книги перейдите в режим постраничного просмотра.
Методики определения параметров вакуумных систем
Лабораторная работа 1. Методы очистки и контроля качества газов, применяемых в технологических процессах микроэлектроники
Предыдущая страница
Следующая страница
Table of contents
Введение
Лабораторная работа 1. Методы очистки и контроля качества газов, применяемых в технологических процессах микроэлектроники
-
1.1. Теоретическое введение
1.2. Конструкция установок для диффузионной и катализационно-сорбционной очистки водорода
1.3. Контроль содержания влаги в технологических газах
1.4. Порядок выполнения работы
1.5. Оформление результатов работы
1.6. Контрольные вопросы
1.7. Задачи
Лабораторная работа 2. Определение скорости откачки вакуумной системы насосами предварительного и высокого вакуума
+
Лабораторная работа 3. Обнаружение мест натекания в вакуумных системах с помощью гелиевого течеискателя
+
Лабораторная работа 4. Измерение предельного вакуума и быстроты действия турбомолекулярного насоса
+
Лабораторная работа 5. Определение состава остаточных газов в вакуумных установках с помощью времяпролетного масс-спектрометрического газоанализатора МСХ-3а
+
Библиографический список
Данный блок поддерживает скрол*