Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления
АвторыПархоменко Ю.Н., Антипов В.В., Жуков Р.А., Кугаенко О.М., Петраков В.С.
ИздательствоМИСиС
Год издания2017
Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу "Выращивание кристаллов". Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок.<br> Цель лабораторного практикума - приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. <br>Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 "Материаловедение и технология материалов" по программе "Кристаллы квантовой и оптической электроники". ...
Downloaded
2019-10-29