Искать
Везде
По названиям
По авторам
Издательство
Тип издания
Год издания
Publishing Houses
Abris
Akademichesky Proyekt
Alpina PRO
Alpina Biznes Bux
Alpina non-fikshn
Alpina Pablisher
Altair
ANTELKOM
ASV
Aspekt-Press
AST-PRESS KNIGA
Belorusskaya nauka
BINOM
Blok-Print
Briansky GAU
VAKO
VGUIT
Veche
VKN
VLADOS
Vremia
VSHOUZ-KMK
Visshaya shkola ekonomiki
Visheyshaya shkola
Galart
Gangut
Genezis
GIORD
Gornaya kniga
Goriachaya liniya - Telekom
Gramota
GEOTAR-Media
Dashkov i K
Delo
Delovoy stil
Direkt-Media
Direktmedia Pablishing
Dmitry Sechin
DMK-press
DODEKA
Zertsalo-M
Zlatoust
Znak
Ivanovskaya GSKHA
Ivanovsky GKHTU
Izdatelsky dom "GENZHER"
Izdatelsky dom V. Yema
Institut obshegumanitarnikh issledovany
Institut psikhologii RAN
Intellekt-Tsentr
Intellektualnaya literatura
Intermediator
Intermediya
INTUIT
Infra-Inzheneriya
Kazansky GMU
Karo
KGAVM
Knigodel
Knizhny mir
KNITU
Kogito-Tsentr
KolosS
Korvet
KTK "Galaktika"
KFU
Laboratoriya znany
Litterra
Logos
Mashinostroyeniye
MGIMO
MGTU im. N.E. Baumana
MGU im. Lomonosova
Meditsina
Mezhdunarodniye otnosheniya
Menedzher zdravookhraneniya
Mir i obrazovaniye
MISI - MGSU
MISiS
Molodaya gvardiya
MEI
Nizhegorodsky GASU
Novosibircky GU
Novosibirsky GTU
Olimpiya
Orenburgsky GU
Original-maket
Pero
Perse
Politekhnika
Progress-Traditsiya
Prometey
Prosvesheniye
Prospekt
Prospekt Nauki
R. Valent
RG-Press
RGGU
Remont i Servis 21
RIPO
Rodniki
RUDN
Rukopisniye pamiatniki Drevney Rusi
Rusistika
Russko-kitayskoye yuridicheskoye obshestvo
Russkoye slovo - uchebnik
RiazGMU
Sankt-Peterburgsky mediko-sotsialny institut
SAFU
V. Sekachev
Sekvoyia
SibGUTI
SibGUFK
Sibirskoye universitetskoye izdatelstvo
Sinergiya
SKIFIYA
Sovetsky sport
SOLON-Press
Sotsium
Sport
Stavropolsky GAU
Statut
Strelka Press
Studiya ARDIS
SFU
TGASU
Text
Terevinf
Terra-Sport
Tekhnosfera
Tomsky GU
Tochka
Universitetskaya kniga
Fenix
Fizmatlit
Finansi i statistika
Flinta
Khimizdat
Khobbiteka
Chelovek
Expert-Nauka
Yuniti-Dana
Yustitsinform
YUFU
Yaziki slavianskikh kultur
Check allUncheck all
**Данные блоки поддерживают скрол
Title Types
avtoreferat dissertatsii
adresnaya/telefonnaya kniga
antologiya
afisha
biobibliografichesky spravochnik/slovar
biografichesky spravochnik/slovar
bukvar
dokumentalno-khudozhestvennoye izdaniye
zadachnik
ideografichesky slovar
instruktivno-metodicheskoye izdaniye
instruktsiya
katalog
katalog auktsiona
katalog biblioteki
katalog vistavki
katalog tovarov i uslug
materiali konferentsii (syezda, simpoziuma)
monografiya
muzeyny katalog
nauchno-khudozhestvennoye izdaniye
nauchny zhurnal
nomenklaturny katalog
orfografichesky slovar
orfoepichesky slovar
pamiatka
perevodnoy slovar
pesennik
praktikum
prakticheskoye posobiye
prakticheskoye rukovodstvo
preyskurant
preprint
prolegomeni, vvedeniye
promishlenny katalog
prospekt
putevoditel
rabochaya tetrad
razgovornik
samouchitel
sbornik nauchnikh trudov
slovar
spravochnik
standart
tezisi dokladov/soobsheny nauchnoy konferentsii (syezda, simpoziuma)
terminologichesky slovar
tolkovy slovar
ustavnoye izdaniye
uchebnaya programma
uchebnik
uchebno-metodicheskoye posobiye
uchebnoye nagliadnoye posobiye
uchebnoye posobiye
uchebny komplekt
khrestomatiya
chastotny slovar
entsiklopedichesky slovar
entsiklopediya
etimologichesky slovar
yazikovoy slovar
Check allUncheck all
**Данные блоки поддерживают скрол вверх/вниз

11.00.00 Электроника, радиотехника и системы связи (Техносфера)

Панель управления
Показано 17..32 из 89

Применение квантово-каскадных лазеров: состояние и перспективы

АвторыЛ. А. Скворцов
ИздательствоТехносфера
Год издания2020
Кратко рассмотрены основные физические принципы работы квантово-каскадных лазеров (ККЛ), работающих от средневолнового диапазона инфракрасного спектра до терагерцевого диапазона частот. Обсуждаются уникальные свойства излучения ККЛ, являющиеся обоснованием наиболее предпочтительных областей их применения. Приводятся многочисленные примеры применения ККЛ и приборов на их основе в различных сферах деятельности. Анализируются проблемы, еще требующие своего решения для расширения областей применения этих лазеров. <br>Книга рассчитана на широкий круг специалистов, работающих в области обороны, безопасности, связи, медицины и биологии, экологического мониторинга и спектроскопии, лазерной физики, а также может быть полезна преподавателям, аспирантам и студентам старших курсов соответствующих специальностей. <br>Ключевые слова: квантово-каскадные лазеры, оптико-электронное противодействие, обнаружение и идентификация следов сложных химических соединений, имиджинговые досмотровые системы, ККЛ в медицине и биологии, экологический мониторинг, атмосферные оптические линии связи. ...
Downloaded 2021-10-05

Основы проектирования субмикронных микросхем

АвторыА. И. Белоус, Г. Я. Красников, В. А. Солодуха
ИздательствоТехносфера
Год издания2020
В объеме 14 глав одной книги детально и последовательно рассмотрен весь комплекс взаимосвязанных теоретических и практических аспектов сквозного проектирования и организации производства кремниевых субмикронных микросхем: теоретические основы работы полевых и биполярных транзисторов, методы и особенности конструктивно-схематического проектирования, базовые схемотехнические и системотехнические решения биполярных, КМОП-, БиКМОП-и КНИ-микросхем, методы и средства повышения их радиационной стойкости, стандартные библиотеки проектирования и типовые маршруты проектирования. <br>Впервые в отечественной научно-технической литературе здесь детально рассмотрены методы логического проектирования КМОП-микросхем с пониженным энергопотреблением, а также основные принципы и методы проектирования кибербезопасных микросхем и систем-на-кристалле.<br> Детально рассмотрены современные методы и средства управления качеством изготовления субмикронных микросхем, современные технологии корпусирования микросхем, систем-на-кристалле и систем в корпусе.<br> Отдельная глава посвящена анализу состояния и тенденций развития современной микроэлектроники, включая методологический анализ существующих проблем и новых угроз.<br> Книга ориентирована на широкий круг читателей: студентов и преподавателей технических университетов, а также инженеров и менеджеров, специализирующихся в области разработки и организации производства субмикронных микросхем. ...
Downloaded 2021-10-05

Дуговой атомно-эмиссионный анализ редкоземельных металлов и их оксидов

АвторыБарановская В.Б., Кошель Е.С.
ИздательствоТехносфера
Год издания2020
Редкоземельные металлы имеют стратегическое значение для всех развитых стран мирового сообщества. Без них не обходится современная опто- и радиоэлектроника, приборо- и автомобилестроение, химическая промышленность, металлургия, атомная и альтернативная энергетика. Области применения и цена на редкоземельные материалы напрямую зависят от их чистоты. В связи с этим контроль химического состава -неотъемлемая часть их производства и потребления. В настоящее время актуальным в аналитическом контроле редкоземельных материалов является расширение круга определяемых примесных элементов и увеличение чувствительности анализа.<br> В настоящей монографии описан методический подход к разработке усовершенствованных методик дугового атомно-эмиссионного анализа редкоземельных металлов и их оксидов, включающих как прямое определение примесных элементов, так и комбинирование инструментального подхода к анализу с предварительным отделением мешающих элементов, их гармонизация с возможностями современной аппаратуры, метрологическим и информационным обеспечением. Эта информация представляет интерес для работников аналитических лабораторий, научно-исследовательских организаций, высших учебных заведений и потребителей редкоземельных металлов и материалов на их основе. ...
Downloaded 2020-08-24

Радиолокация для всех

АвторыВерба B.C., Гаврилов К.Ю., Ильчук А.Р., Татарский Б.Г.
ИздательствоТехносфера
Год издания2020
Представленный в научно-популярной книге материал можно назвать начальным курсом по радиолокации. В издании рассмотрены основные физические и теоретические вопросы радиолокации, принципы построения радиолокационных систем и основные области их практического использования. Рассмотренные в книге примеры типовых радиолокаторов и области их применений не исчерпывают весь возможный диапазон использования радиолокационной техники и принципов получения информации радиолокационными методами в повседневной жизни человека.<br> Изложение материала ведется в форме беседы специалиста в области радиолокации - профессора кафедры радиолокации и студента, мало знакомого с радиотехникой и ее областью радиолокации.<br> Книга ориентирована в первую очередь на выпускников школ и студентов младших курсов технических вузов, может быть интересна и для студентов более старших курсов радиотехнических факультетов, а также для всех интересующихся радиолокацией. ...
Downloaded 2020-08-24

Аналитический контроль благородных металлов

АвторыКарпов Ю.А., Барановская В.Б., Житенко Л.П.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
Благородные (драгоценные) металлы относятся к важнейшим видам современных материалов. Они являются валютными ценностями, широко применяются в ювелирном деле, в электронной, химической, машиностроительной промышленности, в медицине и многих других областях человеческой деятельности. Функциональные свойства этих материалов неразрывно связаны с их химическим составом, который устанавливают с помощью аналитического контроля.<br> В настоящей монографии рассмотрены современные методы анализа (атомно-спектральные, рентгеноспектральные, физико-химические и другие), методы пробирного концентрирования, методики аналитического контроля конкретных объектов, стандарты на методы анализа и проблемы развития аналитической химии благородных металлов. Эта информация представляет интерес для работников аналитических лабораторий, научно-исследовательских организаций, высших учебных заведений и многочисленных потребителей материалов и изделий, содержащих благородные металлы. ...
Downloaded 2020-08-23

Полузаказные БИС на БМК серий 5503 и 5507. Кн. 2. Система автоматизированного проектирования "Ковчег 3.04"

АвторыГаврилов С.В., Денисов А.Н., Коняхин В.В., Соколовская М.М.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
Это вторая книга серии практических пособий из четырех книг под общим названием "Полузаказные БИС на БМК серий 5503 и 5507", посвященной общим сведениям о базовых матричных кристаллах, вопросам методологии проектирования БИС на их основе, средствам проектирования и библиотекам функциональных ячеек.<br> Книга содержит описание системы автоматизированного проектирования "Ковчег 3.04", используемой при разработке специализированных КМОП микросхем на основе базовых матричных кристаллов серий 5503 и 5507, нашедших широкое применение в радиоэлектронной аппаратуре различного назначения. Детально описаны все подсистемы САПР, реализующие полный цикл проектирования микросхем от разработки логического проекта до подготовки БИС к производству. <br>Промышленная версия САПР "Ковчег 3.04" распространяется свободно и размещена на сайте (http://www.asic.ru). <br>Книга предназначена для разработчиков радиоэлектронной аппаратуры, а также для преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов, изучающих современные методы проектирования специализированных БИС. ...
Downloaded 2020-08-23

Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств

АвторыКондрашин А.А., Лямин А.Н., Слепцов В.В.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
С развитием высоких технологий становится реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе микронных и субмикронных многослойных схем. На основе классификации формирования ТЭУ на плоских (2D) и квазиобъемных (квази-3Б) подложках рассмотрены основные принципы и характеристики технологий плоской печати. Сделан вывод о невозможности изготавливать по этим технологиям объемные структуры сложной формы в непрерывном технологическом цикле, а также проанализированы возможности современных технологий для производства ТЭУ. Классификация данных технологий по физическому принципу воздействия на конструкционный материал и выявление их общих недостатков показали, что использование данных технологий не позволяет эффективно формировать многослойные сложные 3D-объекты.<br> Решением данной задачи являются еще только разрабатываемые гибридные технологии, названные в данной работе квази-4D-технологиями формирования ТЭУ, так как в настоящее время они находятся лишь в стадии разработки (являются пред-4D-технологиями или 3D+-технологиями), практически не обеспечены необходимыми материалами и элементной базой, но имеют потенциальные возможности для создания полноценных 4D-объектов.<br> Первым шагом к созданию квази-4D-технологий формирования ТЭУ является внедрение 3D MID-технологий. Проведен сравнительный анализ возможностей различных 3D MID-технологий формирования ТЭУ, выявлены недостатки данных технологий и приведены примеры их реализации в промышленности. <br>В то же время, исходя из возможностей современных технологий, создана классификация 4D-объектов (способных менять свою форму или структуру после их создания в зависимости от внешних условий, например при изменении температуры, при механическом воздействии и т.д.) ТЭУ и технологий для их формирования. <br>Данное учебное пособие является первой книгой по технологиям изготовления, сканирования и визуализации трехмерных электронных устройств. Во второй книге будут рассмотрены технологии сканирования трехмерных электронных устройств различных диапазонов, в том числе нанометрового диапазона. Отдельный раздел второй книги будет посвящен возможностям изготовления трехмерных электронных устройств нанометрового диапазона с применением методов сканирующей микроскопии. Третья книга будет посвящена технологиям визуализации (средствам отображения информации) для контроля параметров ТЭУ, создания новых ТЭУ и технологий реинжиниринга ТЭУ. <br>Учебное пособие может быть рекомендовано бакалаврам и магистрам высших учебных заведений. ...
Downloaded 2020-08-23

Основы силовой электроники

АвторыБелоус А.И., Солодуха В.А., Ефименко С.А., Пилипенко В.А.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
В книге представлена информация о принципах работы, основных технических характеристиках и технологиях изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, применяемых в силовой электронике. Рассмотрена элементная база для вторичных источников питания, управления электродвигателями и осветительным оборудованием, для автомобильной электроники, управления MOSFET и IGBT. Отдельные главы посвящены приборам на основе широкозонных полупроводников - нитрида галлия, карбида кремния и арсенида галлия. Рассмотрены вопросы высокотемпературной обработки в технологии приборов для силовой электроники, особенности корпусирования мощных полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.<br> Книга ориентирована на широкий круг читателей - научных и инженерно-технических работников, преподавателей, аспирантов и студентов, изучающих и применяющих элементную базу силовой электроники. ...
Downloaded 2020-08-24

Полузаказные БИС на БМК серий 5503 и 5507. Кн. 3. Библиотека функциональных ячеек для проектирования полузаказных микросхем серий 5503 и 5507

АвторыДенисов А.Н., Фомин Ю.П., Коняхин В.В., Фёдоров Р.А.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
Это третья книга серии практических пособий из четырех книг под общим названием "Полузаказные БИС на БМК серий 5503 и 5507", посвященных общим сведениям о базовых матричных кристаллах, вопросам методологии проектирования БИС на их основе, средствам проектирования и библиотекам ячеек полузаказных микросхем серий 5503 и 5507. <br>Книга содержит описание унифицированной библиотеки функциональных ячеек, предназначенной для проектирования средствами САПР "Ковчег" различных специализированных микросхем на основе базовых матричных кристаллов серий 5503 и 5507.<br> Книга предназначена для разработчиков радиоэлектронной аппаратуры, а также для преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов, изучающих современные методы проектирования специализированных БИС. ...
Downloaded 2020-08-23

Эталоны и стандартные образцы в измерениях неэлектрических величин

АвторыЛукашкин В.Г., Булатов М.Ф.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
В справочном пособии рассмотрены современные методы измерений и контроля широкого ряда неэлектрических величин, включая физико-химические преобразователи и аналитические приборы. С учетом переопределения основных величин через фундаментальные физические константы (ФФК) рассматривались только вторичные и рабочие эталоны, для которых приведены метрологические характеристики, расчетные соотношения и методы технической реализации. Даны нормативные документы и порядок разработки стандартных образцов. Проанализированы вопросы автоматизации измерений для систем удаленного сбора информации с интеллектуальных преобразователей с использованием AS-интерфейса и HART-протокола. Представлены автоматизированные поверочные установки и методы расчета погрешностей измерений.<br> Пособие будет интересно для специалистов, занимающихся вопросами разработки, производства и оценки качества средств измерений, контроля и испытаний, а также для студентов и аспирантов вузов метрологических и приборостроительных специальностей. ...
Downloaded 2020-08-24

Системы на кристалле со встроенными антеннами на наногетероструктурах А3В5

АвторыМальцев П.П.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
В сборник вошли статьи сотрудников Федерального государственного автономного научного учреждения "Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова" Российской академии наук (ИСВЧПЭ РАН), опубликованные в период 2010-2017 гг. по новым направлениям исследований наногетероструктур А3В5 (арсенид галлия и нитрид галлия): расчет и моделирование систем на кристалле с интегрированными антеннами и усилителями для крайне высоких частот, создание фотопроводящих антенн для терагерцевых устройств.<br>Статьи использованы при выполнении работ по заказу Минобрнауки России в рамках: ФЦП "Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники" на 2008-2015 годы, ФЦП "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2009-2013 годы, ФЦП "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России" на 2007-2013 годы и на 2014-2020 годы. ...
Downloaded 2019-11-18

Технологии защиты микросхем от обратного проектирования в контексте информационной безопасности

АвторыФедорец В.Н., Белов Е.Н., Балыбин С.В.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
В книге рассмотрены вопросы обеспечения информационной безопасности современной электронной компонентной базы, используемой при разработке радиоэлектронной аппаратуры различного назначения. Особое внимание уделено вопросам уязвимости, возникающим при разработке и изготовлении микросхем, создаваемых по fabless-технологии. <br>Авторами рассмотрены инженерно-технические и организационно-методические решения по защите от обратного проектирования современных микросхем. <br>Книга может быть полезна специалистам в области микроэлектроники, разработчикам отечественной элементной базы, а также студентам, обучающимся по специальностям, связанным с разработкой микросистем и информационной безопасностью. ...
Downloaded 2019-11-18

Процессы передачи и обработки информации в системах со сложной динамикой

АвторыДмитриев А.С., Ефремова Е.В.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
Интригующие свойства динамического хаоса и связанных с ним бифуркационных явлений давно привлекают пристальное внимание исследователей. Достижения в области сложной динамики нелинейных систем позволили к началу 1990-х годов осознать потенциальное значение динамического хаоса как средства и идеологии обработки и передачи информации. В связи с этим в ИРЭ РАН было сформировано направление исследований "Информационные и коммуникационные технологии на основе динамического хаоса" - лаборатория "Информхаос".<br>В книге рассматриваются основные разработки лаборатории и полученные результаты, включая нелинейные динамические системы для записи, хранения и ассоциативного извлечения информации, общие принципы формирования шумоподобных хаотических сигналов в электронных устройствах, применение хаотических сигналов для беспроводной передачи данных, самоорганизующиеся сенсорные и активные сети беспроводной связи на основе прямохаотических приемопередатчиков, применение приемопередатчиков с хаотическими сигналами для связи и управления в группировках мобильных объектов, разработка идеи искусственного радиоосвещения на основе миниатюрных источников шумопо-добного хаотического излучения микроволнового диапазона. ...
Downloaded 2019-11-18

Новые технологии дистанционного зондирования Земли из космоса

АвторыГруздов В.В., Колковский Ю.В., Криштопов А.В., Кудря А.И.
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
Зондирование поверхности Земли с применением когерентных радиолокационных систем разных частотных диапазонов, размещенных на космических аппаратах, выгодно отличается от других средств видового мониторинга земной поверхности и расположенных на ней объектов. <br>В книге последовательно рассматриваются: технический облик современных радиолокационных комплексов для дистанционного зондирования Земли из космоса, современные тенденции проектирования АФАР космического базирования, современные тенденции создания элементной базы для РСА космического базирования, СВЧ аппаратура на нитрид-галлиевых приборах, комплексные методики расчетов параметров радиолокационной съемки и параметров качества радиолокационных изображений с помощью космического РСА, методы улучшения качества радиолокационных изображений путем перехода на когерентные ансамбли дискретно-кодированных зондирующих сигналов.<br> Расчеты параметров РСА и РЛИ проводятся в книге на основе комплексного подхода, который увязывает их с орбитальными параметрами космического аппарата-носителя РСА, с учетом влияния сферичности Земли и ее вращения, с учетом влияния параметров атмосферы, характеристик антенны РСА, а также отдельных процедур наземной обработки радиолокационной информации. ...
Downloaded 2019-11-18

Полузаказные БИС на БМК серий 5503 и 5507. Кн. 1. Методология проектирования и освоение производства

АвторыА. Н. Сауров
ИздательствоТехносфера
Год издания2019
Это первая книга серии практических пособий в четырех книгах под общим названием "Полузаказные БИС на БМК серий 5503 и 5507", посвященных общим сведениям о базовых матричных кристаллах, вопросам методологии проектирования БИС на их основе, средствам проектирования и библиотекам ячеек полузаказных микросхем серий 5503 и 5507, нашедших широкое применение в радиоэлектронной аппаратуре.
Книга содержит сведения об отечественных базовых матричных кристаллах, применяемых в настоящее время в аппаратуре космического назначения. Детально описана конструкция БМК серий 5503 и 5507, приведены их основные характеристики. В книге представлена методология проектирования полузаказных БИС и разработки аппаратуры на их основе, изложен порядок освоения производства БИС, дан обзор нормативно-технической документации, регламентирующей требования к микросхемам, приведен пример проектирования микросхемы на БМК серии 5503 средствами САПР "Ковчег 3.04".
Промышленная версия САПР "Ковчег 3.04" свободно распространяется и размещена на сайте (http://www.asic.ru).
Книга предназначена для разработчиков радиоэлектронной аппаратуры, а также для преподавателей, аспирантов и студентов старших курсов, изучающих современные методы проектирования специализированных БИС.
 ...
Downloaded 2019-11-18

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

АвторыБерлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.
ИздательствоТехносфера
Год издания2018
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (1011-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (Aei < 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10-2-И0-1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30-^80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ICP для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. <br>За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого - систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICR Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. <br>Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICR Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICR и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
 ...
Downloaded 2019-11-18
Панель управления
Android Logo
iOS Logo
Читайте книги в приложении Консутльтант Студента на iOS, Android или Windows
Показано 17..32 из 89