Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
АвторыКузнецов Г.Д., Курочка С.П., Кушхов А.Р., Демченкова Д.Н., Курочка А.С.
ИздательствоМИСиС
Год издания2007
Лабораторный практикум выполняется по курсам "Основы высоких технологий", "Процессы микро- и нанотехнологии" и "Микротехнология слоистых материалов и покрытий". <br>В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.<br> Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению "Электроника и наноэлектроника", специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". ...
Downloaded
2020-01-03