Технология микросистемной техники. Методы микрообработки
АвторыО.С. Нарайкин, В.В. Холевин, И.И. Данилов, В.А. Шалаев
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Год издания2010
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей. ...
Downloaded
2015-05-14