АвторыИ.Е. Малов, И.Н. Шиганов
Лазеры в микроэлектронике
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2012
Скопировать биб. запись
Для каталогаМалов, И. Е. Лазеры в микроэлектронике : учеб. пособие / И. Е. Малов, И. Н. Шиганов. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2012. - 73 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/bauman_0558.html (дата обращения: 31.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияУчебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности "Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов".