АвторыМалов И.Е., Шиганов И.Н.
Лазерные технологии в электронном машиностроении
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2008
Скопировать биб. запись
Для каталогаМалов, И. Е. Лазерные технологии в электронном машиностроении : учебное пособие / Малов И. Е. , Шиганов И. Н. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008. - 24 с. - ISBN --. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/bauman_0043.html (дата обращения: 05.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияДано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину "Лазерная микротехнология".