АвторыФилимонова Н.И., Величко А.А., Фадеева Н.Е.
Методы электронной микроскопии
ИздательствоСибГУТИ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2016
Скопировать биб. запись
Для каталогаФилимонова, Н. И. Методы электронной микроскопии : учебное пособие / Филимонова Н. И. , Величко А. А. , Фадеева Н. Е. - Новосибирск. : СибГУТИ, 2016. - 61 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/SibGUTI-023.html (дата обращения: 31.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияУчебное пособие "Методы электронной микроскопии" содержит подробное описание физических основ и экспериментальных методов электронной микроскопии определения физических и структурных свойств материалов. Рассматриваются вопросы применения данных методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", профиль "Интегральная электроника и наноэлектроника" для дисциплины "Методы диагностики и анализа микро и наноструктур".