АвторыКузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Билалов Б.А.
Элионная технология в микро- и наноиндустрии
ИздательствоМИСиС
Тип изданияучебное пособие
Год издания2008
Скопировать биб. запись
Для каталогаКузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : Курс лекций / Кузнецов Г. Д. , Кушхов А. Р. , Билалов Б. А. - Москва : МИСиС, 2008. - 156 с. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/Misis_289.html (дата обращения: 22.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия - формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. <br>Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. <br>Соответствует программе курса "Элионная технология в микро- и наноиндустрии".<br> Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника" и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 "Нанотехнология", 210601 "Нанотехно-логия в электронике" и по специальности 210602 "Наноматериалы".