АвторыСветличный А.М., Житяев И.Л.
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
ИздательствоЮФУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2018
Скопировать биб. запись
Для каталогаСветличный, А. М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие / А. М. Светличный, И. Л. Житяев. - Ростов н/Д : ЮФУ, 2018. - 96 с. - ISBN 978-5-9275-3097-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785927530977.html (дата обращения: 31.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияВ пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей.<br>Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе "Лучевые процессы нанотехнологии".