АвторыОстертак Д.И.
Микроэлектромеханика
ИздательствоНовосибирский ГТУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2016
Скопировать биб. запись
Для каталогаОстертак, Д. И. Микроэлектромеханика : учебное пособие / Остертак Д. И. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2016. - 120 с. - ISBN 978-5-7782-2901-3. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785778229013.html (дата обращения: 25.12.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияПособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: "Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы".