АвторыА. М. Базиненков, А. Т. Каменихин
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебно-методическое пособие
Год издания2020
Скопировать биб. запись
Для каталогаБазиненков, А. М. Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : учебно-методическое пособие / А. М. Базиненков, А. Т. Каменихин. - 2-е изд. , испр. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 62 с. - ISBN 978-5-7038-5384-9. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703853849.html (дата обращения: 21.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияПредставлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования - средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. <br>Для студентов, обучающихся по специальностям "Электроника и наноэлектроника", "Наноинженерия" в МГТУ им. Н.Э. Баумана.