АвторыЮ. Б. Цветков
Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2018
Скопировать биб. запись
Для каталогаЦветков, Ю. Б. Процессы и оборудование микротехнологии : Модули 1 и 2 : учебное пособие / Ю. Б. Цветков. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. - 122 с. - ISBN 978-5-7038-4864-7. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703848647.html (дата обращения: 04.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияДано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. <br>Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".