АвторыПотловский К. Г.
Нанотехнологии и микромеханика
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2013
Скопировать биб. запись
Для каталогаПотловский, К. Г. Нанотехнологии и микромеханика. Ч. 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники : учебное пособие / К. Г. Потловский, Е. А. Скороходов, С. А. Козубняк. - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2013. - 64 с. - ISBN 978-5-7038-3729-0. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703837290.html (дата обращения: 21.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияРассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс "Микросистемная техника".