АвторыМакарчук В.В., Родионов И.А., Цветков Ю.Б.
Методы литографии в наноинженерии. Кн. 9
ИздательствоМГТУ им. Н.Э. Баумана
Тип изданияучебное пособие
Год издания2011
Скопировать биб. запись
Для каталогаМакарчук, В. В. Методы литографии в наноинженерии. Кн. 9 : учеб. пособие / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков - Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 176 с. (Библиотека "Наноинженерия") - ISBN 978-5-7038-3500-5. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785703835005.html (дата обращения: 02.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияМетодические материалы по дисциплине "Методы литографии в наноинженерии" содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. <br>Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки "Нанотехнология" с профилем подготовки "Наноинженерия". Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.