АвторыВоротынцев В. М., Скупов В. Д.
Базовые технологии микро- и наноэлектроники
ИздательствоПроспект
Тип изданияучебное пособие
Год издания2017
Скопировать биб. запись
Для каталогаВоротынцев, В. М. Базовые технологии микро- и наноэлектроники / Воротынцев В. М. , Скупов В. Д. - Москва : Проспект, 2017. - 520 с. - ISBN 978-5-392-25297-8. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785392252978.html (дата обращения: 18.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияУчебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе "высокая чистота материала - высокое качество продукции". Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники. Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу "Технология материалов электронной техники". Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.