АвторыГапоненко Н.В., Милешко Л.П.
Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель-технологии и анодного окисления
ИздательствоЮФУ
Тип изданияучебное пособие
Год издания2019
Скопировать биб. запись
Для каталогаГапоненко, Н. В. Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель-технологии и анодного окисления : учебное пособие / Н. В. Гапоненко, Л. П. Милешко. - Ростов н/Д : ЮФУ, 2019. - 152 с. - ISBN 978-5-9275-3182-0. - Текст : электронный // ЭБС "Консультант студента" : [сайт]. - URL : https://www.studentlibrary.ru/book/ISBN9785927531820.html (дата обращения: 22.11.2024). - Режим доступа : по подписке.
АннотацияМеждисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки "Техносферная безопасность", "Нанотехнологии и микросистемная техника" и "Конструирование и технология электронных средств". <br>Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель-пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором - меди (I).